高精度焦点分析仪-FSA充分考虑微加工激光的参数和微加工现场的光路结构，整合激光 输入准直基准，激光衰减模块，高倍率、高保真、高损伤阈值放大光路，以 及高分辨率专业光斑分析仪。用户只需将整体设备放置到场镜 / 聚焦透镜下， 简单对准即可对加工激光的焦点光斑进行完整分析 , 而无需搭建繁琐的光路。 系统采用紧凑型整体式设计，方便移动，可用于多个机台灵活测试。