Energetiq生产的光源具有高可靠性,高性能,高亮度,长寿命等特点。其产品具有很宽的光谱范围,谱线包括软远紫外线(EUV),深紫外线(DUV),并覆盖从可见光到红外光区(IR),波长范围从170nm到2100nm以上。Energetiq的光源结构紧凑,使用方便,性价比高的特点,宽谱线并带光纤耦合输出。
性能特性:
高亮度 — 输出强度是75W Xe灯的10倍、30W氘灯的100倍以上
高稳定性 — 可比拟激光器的功率稳定性和空间稳定性
宽光谱输出 — 170nm~2100nm,一个光源满足各种常用需求
超长寿命 — 无电工作,单个灯泡寿命9000个小时,更低维护成本
更高的耦合效率 — 光斑尺寸<100um,并提供光纤以及自由光输出选项