简要描述：Novanta公司旗下的英国Cambridge Technology利用其强大的位置检测与控制技术，出品的高速62xz系列激光振镜模块，在做到业内最快的扫描速度同时保持高度的稳定性，可以适合大部分应用的需要，而83xx系列高速激光振镜模块更进一步压制了温度漂移，更适合于要求苛刻的微加工或宽场加工场合。

建议孔径

3-7 mm

3-7 mm

3-7 mm

5-10 mm

8-15 mm

8-15 mm

12-25 mm

25-75mm

30-100mm

波长选项

355nm/532 nm/1030 nm -1080 nm/9.4μm-10.6 μm ；宽谱段镀膜范围:350 nm -12 μm

最大扫描角度

40°

适配伺服控制器

模拟系列:671,672,673 ；数字系列:DC900,DC3000 Plus

转动惯量 (gm-cm²±10%)

 0.013

 0.018

0.028

 0.125

  0.97

 0.82

2.4

  15.6

47.5

扭矩常数(dynecm/amp,±10%)

1.20x10⁴

2.79x10⁴

3.78x104

6.17x10⁴

1.31x10⁵

1.11x10⁵

2.0x10⁵

7.08x10⁵

8.5x10⁵

最高转子温度

110℃

热阻 （转子至机箱）

3.8 ℃/W

2.0 ℃/W

1.0 ℃/W

1.0 ℃/W

0.8 ℃/W

1.0 ℃/W

0.62 ℃/W

0.35℃/W

0.2 ℃/W

线圈电阻 (欧姆±10%)

2.14

3.7

2.5

2.79

1.07

1.27

1.03

1.69

0.60

线圈电感(μH±10%)

52

109

94

180

173

176

350

1030

530

反 EMF 电压(μW//秒,±10%)

20.9

48.7

66

108

229

195

346

1220

1480

最大RMS电流(安培；
外壳温度=50℃,)

2.3

2.4

4.1

3.9

7.1

5.8

8.2

71

12

峰值电流(安培,最大）

6

8

20

20

25

25

25

20

40

重量

13.3 g

18 g

25.8 g

42.5 g

267 g

142 g

356 g

590 g

1200 g

位敏指标

线性度

最小99.9%, 在20°扫描范围内

典型99.5% ，在 40°扫描范围内

短期重复度

8 μrad

输出信号（常规模式）

155μA(±25%) 当 AGC 电流为 25 mA 时

输出信号（差分模式）

12μA/°(±5%) 当常规模式电流为155 μA时

62xxK系列振镜模块与83xxK系列振镜模块的区别

最大比例漂移

62xxK:50 ppm/°C

83xxK:15 ppm/℃

最大零点漂移

62xxK:15 μrad/℃

83xxK:5μrad/℃