高性能光学元件 / 光学系统是多种多样的。PHASICS 提供基于 SID4 波前传感器、R-Cube 光源及双路分光模块、成像模块等构建的组合测试方案,方便用户根据待测物的特性(如口径、焦距等)订制光学计量系统。
1)R-Cube
R-Cube 是一个双通路光源模块,具备激光入口、准直光出瞳、位相传感其适配口,内置高品质分光镜及准直器。可根据要求选择光源波长,高品质准直光源通过出瞳后可用于待测元件照明。经出口返回 R-Cube内部的光由 SID-4 位相传感器测量。出瞳光束可配置物镜构成点光源 / 球面光束,或扩束器以实现大口径光斑。
• 兼容 SID4/ HR/ UV/ SWIR/ SWIR-HR /DWIR 等传感器
• 有效光束口径:与传感器匹配
• 可选光源:365~3900nm 多种波长
• 校准镜光学质量:λ/20 @ 632.8nm
• 位相分辨率:<2nm rms
测试光路典型光学元件计量的光路可以 R-Cube 和 SID4 为核心灵活搭建: