简要描述：残余气体分析仪是一种可用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测限，带有分析软件和RS232接口。

残余气体分析仪

发布日期：2010/7/29

 美国斯坦福公司的残余气体分析仪（RGA）划分为100、200、300amu三种型号，其优异的性能和价值是真空分析仪的产品。并且SRS提供的的价格不到同类产品的一半，每一个RGA系统都由一个四级杆探针和电子控制单元组成。实时分析的windows软件包可以更方便的用于数据采集和分析，并可进行远程控制。

 
是在真空腔内利用RGA离子分化器将气体分子电离，电离后的带电粒子进入四杆产生的偏转电场内，由于不同的粒子质量数不一样，在一定的电场作用下所形成的偏转半径就不一样。相当于我们在四杆上加特定的电场就会有特定质量数的离子打到探测器阳上，探测器所产生的电流正比于气体分子的浓度。进一步改变电场，就可以检测到不同质量数离子的浓度。之后我们再做电场扫描，就可以计算出真空腔中所含气体的成分。

具体性能参数如下：
型号
质谱范围                        RGA100     1 to 100 amu
                                        RGA200     1 to 200 amu
                                        RGA300     1 to 300 amu
质朴滤波器类型           Quadrupole
探测器类型                   Faraday cup （FC）, standard Electron multiplier （EM）, optional
分辨率                           Better than 0.5 amu @ 10 % peak height. Adjustable to constant peak  width 
                                       throughout the mass range.
灵敏度（A/Torr）              2 × 10^?4 （FC）, <200 （EM）.
探测限                       5 × 10?11 Torr （FC）,
                                       5 × 10?14 Torr （EM）
测试范围                      10?4 Torr to UHV （FC）
                                      10?6 Torr to UHV （EM）
操作温度                      70 °C （max.）
烘烤温度                      300 °C （without ECU）

离子发生器
结构                              Open ion source, cylindrical symmetry, electron impact ionization
材料                              SS304 construction
灯丝                              Thoriated iridium （dual） with firmware protection. Built-in 1 to 10 W degas ramp-up.
                                      Field replaceable.
电子能量                      25 to 105 V, programmable
离子能量                      8 or 12 V, programmable
焦点电压                      0 to 150 V, programmable
电子输出电流              0 to 3.5 mA, programmable

规格
探针尺寸                     8.75" from flange face to top of ionizer
探针孔径                     2.0"
探针安装法兰             2.75" CF
Minimum tube I.D.    1.375"
ECU尺寸                    3.1" × 4.1" × 9.1" （WHD）. Easily separated from the probe for bakeout. 
LED指示灯                 Power ON/OFF, filament ON/OFF,degas ON/OFF, electron multiplierON/OFF, RS-  
                                     232 Busy, Error,Overpressure, Burnt Filament
预热时间                    Mass stability ±0.1 amu after 30 minutes
电脑接口                    RS-232C, 28,800 baud with highlevel command set
软件                            Windows based application
电源要求                   24 VDC @ 2.5 amps, male DB9 connector, optional built-in power module for AC  
                                    line operation